參考文獻(xiàn)
張興、黃如、劉曉彥，《微電子學(xué)概論》，北京大學(xué)出版社，2000年。
Fedder,G..K.,S.Reed M.L.,Eagle S.C.,Guilou D.F.,Lu M.,Carley L.R.,”Laminated high-aspect-ratio microstructures in a conventional CMOS process,” Sensor and Actuators A,pp.103-10,Nov.1996.
Kuechnel,W.,”Modeling of the mechanical behavior of a differential capacitor accelerometer sensor,”Sensors and Actuators A,vol.A36,pp.79-87,March 1993.
Yun,W.,Howe R.T.,Gray R.R.,”surface micromachined,digitally force-balanced accelerometer with integrated COMS detection circuitry,”IEEE Solid-State Sensor and Actuator Workshop,Hilton Head Island,SC,June,1992, pp21-25
Lecture notes, EE321, MEMS Design, Stanford University, 2003.
黃慶安，硅微機(jī)械加工技術(shù)，科學(xué)出版社，1996年。

首頁(yè) 上一頁(yè) 1 2 3 4 下一頁(yè) 尾頁(yè) 4/4/4